水(shuǐ)質(zhì)電(diàn)感(gǎn)耦合等離子體(tǐ)光譜儀采用射頻發(fā)生器的(dí)高(gāo)壓供電(diàn)回(huí)路(lù)，運用電(diàn)子技術，淘(táo)汰(tài)了笨重的(dí)升壓變(biàn)壓(yā)器(qì)和高頻(pín)阻(zǔ)流圈(quān)，采用功(gōng)率(shuài)閉(bì)環(huán)反饋(kuì)技術，控(kòng)製精度小(xiǎo)於0.1% 。全自(zì)動(dòng)點火 氣路智(zhì)能控(kòng)製，實(shí)現軟(ruǎn)件點(diǎn)火(huǒ)，更(gēng)方(fāng)便(biàn)。安全冷卻水(shuǐ)保護，氬(yà)氣保護，過(guò)壓(yā)，過(guò)流，滅(miè)弧保(bǎo)護更(gēng)安全。輸出(chū)功率自(zì)動匹(pǐ)配調(tiáo)諧(xié)，功率參數軟件程序設定(dìng)。分(fēn)光器(qì)內充氬(yà)氣，使(shǐ)波長在180nm的(dí)硫(liú)和(hé)189nm的Sn得到(dào)很(hěn)靈(líng)敏(mǐn)的測量效果(guǒ)。優(yōu)良的光學係(xì)統(tǒng)，控製係(xì)統(tǒng)，保證峰(fēng)位(wèi)定位準確(què)，信背比(bǐ)優(yōu)良，極小(xiǎo)的基體效(xiào)應(yīng)。測量範圍寬(kuān)， 超(chāo)微(wēi)量(liáng)到常量(liáng)的分析(xī),動態(tài)綫性範圍(wéi)5-6個數(shù)量級(jí)。檢出(chū)限(xiàn)低，大多(duō)數(shù)元素的檢出限(xiàn)可(kě)達(dá)ppb級。良好的測量精度，穩(wěn)定(dìng)性(xìng)相(xiāng)對標準(zhǔn)偏(piān)差(chà)RSD≤1.5%（5ppm），優(yōu)於標準（JJG768-2005）。

技術(shù)參(cān)數：
1.射(shè)頻發(fā)生(shēng)器(qì)（RF）

(1) 電路類型：自激振蕩(dàng)電(diàn)路，全(quán)自動(dòng)點火(huǒ)，精密(mì)高(gāo)壓開關電源(yuán)供電(diàn)係(xì)統，所有(yǒu)功能實(shí)現(xiàn)電腦軟(ruǎn)件控(kòng)製(點(diǎn)火(huǒ)，熄火，功率(shuài)等(děng)參(cān)數設(shè)置(zhì))；實時功率(shuài)控製(zhì)；自動匹配(pèi)調諧；光(guāng)室恒溫

(2) 工(gōng)作(zuò)頻率：40.68MHZ±0.05%

(3) 頻率(shuài)穩定性：<0.1%

(4) 輸(shū)出功率：700－1600w

(5) 輸(shū)出功率穩(wěn)定(dìng)性(xìng)：≤0.3%

(6) 電(diàn)磁場泄(xiè)漏輻射強度(dù)：距機(jī)身(shēn)300mm 電(diàn)場(cháng)強(qiáng)度E:<2V/m

2.進樣(yàng)裝置(zhì):

(1) 輸(shū)出(chū)工(gōng)作綫(xiàn)圈內徑(jìng)25mm，3匝

(2) 炬管(guǎn)：外徑20mm的石英(yīng)炬(jù)管(guǎn)

(3) 同軸型噴霧器(qì)外徑6mm

(4) 雙筒(tǒng)形霧(wù)室外(wài)徑(jìng)35mm

(5) 氬氣流(liú)量(liáng)計(jì)規(guī)格(gé)和載氣壓(yā)力(lì)表規格：

①等(děng)離(lí)子體流量計(jì)（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)

②輔助(zhù)氣(qì)流量計(jì)（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)

③載(zǎi)氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)

④載(zǎi)氣穩(wěn)壓(yā)閥（0-0.4MPa）

儀器內(nèi)設(shè)氬(yà)氣(qì)二(èr)次(cì)穩壓(yā)閥(fá)（0.3MPa）

3.測(cè)光裝(zhuāng)置:

(1) 光電倍增(zēng)管(guǎn)規格(gé)： R212UH

(2) 光電倍(bèi)增管負高(gāo)壓(yā)：200-1000V ，穩定(dìng)性<0.05%

(3) 光(guāng)電倍增(zēng)管(guǎn)電(diàn)流測(cè)量(liáng)範(fàn)圍(wéi)：10-12 -10-4A

(4) 信(xìn)號采(cǎi)集(jí)為V/F交(jiāo)換(huàn)：1mV對(duì)應100Hz

4.分(fēn)光器:

(1) 光(guāng)路: Czerny-Turner

(2) 焦距: 1000mm

(3) 光(guāng)柵規格：離(lí)子(zǐ)刻蝕全息(xī)光柵，刻綫(xiàn)密(mì)度3600綫(xiàn)/mm，刻綫麵積: 80×110mm，綫色散率倒數：0.26nm

(4) 波長範(fàn)圍：190-500nm

(5) 分(fēn)辨率: ≤0.008nm

(6) 掃描(miáo)波長範圍3600綫(xiàn)/mm 掃(sǎo)描(miáo)波長範圍(wéi)：190-500nm

(7) 步進電(diàn)機驅動(dòng)小(xiǎo)步(bù)距：0.0006nm

(8) 入(rù)射狹(xiá)縫：20µm   出(chū)射(shè)狹縫：25µm

(9) 發射(shè)鏡(jìng)規格(gé)：（78 × 105 × 16）mm

(10) 透鏡ф30，1：1成像(xiàng)

技術(shù)指標：

測(cè)量波長(cháng)範圍(wéi)：

180-500nm    3600L/mm光(guāng)柵

180-800nm    2400 L/mm光(guāng)柵(zhà)

測(cè)量(liáng)精(jīng)度（重復(fù)性(xìng)）：
平均(jūn)相對標準(zhǔn)偏差RSD≤1%

測(cè)量穩定(dìng)性：
平(píng)均(jūn)相對標(biāo)準(zhǔn)偏(piān)差(chà)RSD≤2

檢(jiǎn)出下限：亞PPb級