1)係統(tǒng)誤(wù)差也叫(jiào)可測(cè)誤(wù)差(chà)，一般(bān)包括(kuò)儀器的(dí)本(běn)身波動；樣品的給定值(zhí)和實際值存在(zài)一(yī)定(dìng)的偏差(chà)(標準樣品的元(yuán)素定值方法可(kě)能和實(shí)際檢測方法(fǎ)不一致，這(zhè)樣檢測結果會(huì)有(yǒu)方(fāng)法上的(dí)差異；同一種方(fāng)法的(dí)檢(jiǎn)測結果也存在(zài)一定的波動)；待(dài)測樣(yàng)品和(hé)係(xì)列標樣之間存在(zài)成(chéng)分(fēn)的差異，可(kě)能導致(zhì)在蒸發，解離(lí)過程中的(dí)誤差，如背景強度(dù)的差別(bié)和基(jī)體(tǐ)蒸發(fā)的(dí)差異等(děng)。
2)偶(ǒu)然誤(wù)差是(shì)一種(zhǒng)無規(guī)律性(xìng)的誤(wù)差，如試(shì)樣(yàng)不(bù)均(jūn)匀；檢測(cè)時周圍的(dí)溫(wēn)濕(shī)度，電(diàn)源電壓(yā)等的(dí)變化；樣品本(běn)身(shēn)的(dí)成分(fēn)差異(yì)等。
3)過(guò)失誤差(chà)是(shì)指分(fēn)析(xī)人(rén)員工(gōng)作中(zhōng)的(dí)操作(zuò)失(shī)誤所(suǒ)得到的(dí)結(jié)果，可(kě)以(yǐ)避(bì)免。如製樣(yàng)不準確，樣(yàng)品(pǐn)前(qián)處(chǔ)理(lǐ)不符合(hé)要(yào)求(qiú)，控(kòng)樣(yàng)和待測(cè)試樣存在製樣偏差(chà)，選擇了(liǎo)錯(cuò)誤(wù)的(dí)分析程(chéng)序(xù)等。
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