氬在空氣中含(hán)量(liáng)僅(jǐn)為0.93%。ICP光(guāng)源所(suǒ)用的(dí)氬氣純(chún)度需要(yào)99.99%以上(shàng)。而目前(qián)商品(pǐn)ICP光譜(pǔ)儀(yí)均用氬氣(qì)作為工(gōng)作氣(qì)體，未(wèi)采(cǎi)價(jià)廉的分(fēn)子氣(qì)體如氮(dàn)氣和空(kōng)氣等(děng)。其原因(yīn)有(yǒu)兩個：一(yī)是氬ICP光源(yuán)有(yǒu)良好(hǎo)的(dí)分(fēn)析性(xìng)能，分析靈敏(mǐn)度(dù)高且光譜背景較(jiào)低；二(èr)是用氬(yà)作等(děng)離(lí)子體易於形成穩(wěn)定ICP，所需的高(gāo)頻(pín)功(gōng)率也較低(dī)。 在ICP光(guāng)譜技術發展過程中，曾多(duō)次探(tàn)討用(yòng)分子氣體（氮氣，空氣(qì)，氧氣，氬(yà)-氮(dàn)混合氣）代替氬(yà)氣作(zuò)工作氣體。分(fēn)子(zǐ)氣體雖然(rán)在較高(gāo)功率(shuài)下(xià)也(yě)能形成(chéng)等離子體(tǐ)焰(yàn)炬(jù)，所(suǒ)形成的等離子(zǐ)體激(jī)發(fā)溫度(dù)也較(jiào)氬(yà)等離子體低(dī)。
          首(shǒu)先看(kàn)單原子氣(qì)體和分子氣體(tǐ)的(dí)電(diàn)離所(suǒ)需能(néng)量(liáng)與氣體溫度的關係。把(bǎ)氣體加熱(rè)到(dào)同(tóng)樣溫度(dù)，分子氣體氮(dàn)氣和氫(qīng)氣所消耗的熱能遠高(gāo)於氬氣和氦氣(qì)。可以(yǐ)看出分子氣體形成離子的過程分(fēn)兩(liǎng)步，第(dì)1步分(fēn)子(zǐ)狀態N2受熱理解(jiě)為原子(zǐ)，然後(hòu)第(dì)二步(bù)才(cái)能進行(háng)電(diàn)離反(fǎn)應。N2分(fēn)子離解所需能量為(wéi)873KJ/mol，電離過程(chéng)所(suǒ)需(xū)的(dí)能(néng)量(liáng)為(wéi)1402kj/mol。而(ér)惰性(xìng)氣體(tǐ)氬以原(yuán)子態存在(zài)，隻給予電(diàn)離能即可。Ar的電離能(néng)為1506KJ/mol,所需(xū)的(dí)能(néng)量(liáng)低(dī)於(yú)分子(zǐ)氣(qì)體(tǐ)氮氣的離解能和電離能之和(hé)。
          工(gōng)作氣(qì)體(tǐ)的(dí)電阻(zǔ)率，熱(rè)熔(róng)及熱(rè)導率等物(wù)理性質(zhì)是影響形成穩定(dìng)等離子體的另一個重要原(yuán)因。氬(yà)的電阻率(shuài)，熱(rè)熔和(hé)熱(rè)導(dǎo)率都是低(dī)的(dí)。低的(dí)熱導(dǎo)率可(kě)降低(dī)由於(yú)熱(rè)導散熱而(ér)造(zào)成(chéng)的能量損失(shī)；提(tí)高等(děng)離子體的(dí)熱效率，熱(rè)導率(shuài)的(dí)高低對於(yú)形成穩(wěn)定等(děng)離(lí)子體極為重要。據(jù)試驗表明(míng)，當(dāng)外管(guǎn)氣流量(liáng)為5L/min氬氣時，石英(yīng)矩(jǔ)管熱(rè)傳導(dǎo)分別損(sǔn)耗(hào)總能量(liáng)的(dí)60%，43%及(jí)20%。由(yóu)於(yú)前述的(dí)原(yuán)因，氬(yà)氣易形成穩定的(dí)ICP，如高(gāo)頻電(diàn)源頻率(shuài)為(wéi)4MHz時(shí)，用氬氣為工作氣體，維(wéi)持ICP的(dí)低功(gōng)率(shuài)為(wéi)1.5kW；而用氮氣(qì)時(shí)為(wéi)28kw,用(yòng)氫氣為(wéi)250kw。當然，提(tí)高(gāo)電源頻率可以(yǐ)相應(yīng)降低維(wéi)持(chí)ICP所需(xū)的功(gōng)率(shuài)。用分(fēn)子(zǐ)氣(qì)體(tǐ)形成的等離(lí)子體(tǐ)，其(qí)溫(wēn)度比Ar-ICP和(hé)He-ICP要低(dī)。